Диффузионные насосы
Узнать больше
Насосы с масляным уплотнением
Узнать больше
Механические бустерные насосы
Узнать больше
Промышленные безмасляные насосы
Узнать больше
Малые сухие насосы
Узнать больше
Турбомолекулярные насосы
Узнать больше
Измерение вакуума
Узнать больше
Течеискатели
Узнать больше
Анализаторы остаточного газа
Узнать больше
Химические сухие насосы
Узнать больше
Компоненты вакуумных систем
Узнать больше
Вакуумные насосы для создания сверхвысокого вакуума
Узнать больше
Водокольцевые насосы
Узнать больше
iTrap
Узнать больше
Турбомолекулярные насосные станции
Узнать больше
Криогенные чиллеры
Узнать больше
Криоконденсационные вакуумные насосы
Узнать больше
Сухие насосы для полупроводниковой промышленности
Узнать больше
Решения по охране окружающей среды - Очистка отработавших газов
Узнать больше
Интегрированные решения
Узнать больше
Поиск...
Generic filters
_x000D_

В серии EPX используется уникальный запатентованный одновальный регенеративный/ступенчатый механизм Holweck®, который позволяет им перекачивать из атмосферы до предельного давления <1x10-4 мбар или <1x10-6 мбар в зависимости от модели. Они идеально подходят для применений, где требуется более высокое базовое давление, чем может обеспечить обычный первичный насос, и где в противном случае потребовались бы турбомолекулярный насос и первичный насос, а также для применений, которые часто переключаются с атмосферного давления на низкое, поскольку они могут работать непрерывно при всех давлениях на входе.

_x000D_

_x000D_

Технология

_x000D_

_x000D_

Насосная система EPX работает при давлении от атмосферного до предельного вакуума, при этом в насосной камере отсутствует смазочная или уплотняющая жидкость. Это обеспечивает чистоту насосной системы без обратной миграции масла или жидкости в откачиваемую систему.

_x000D_

_x000D_

Статор насоса и закрытый двигатель охлаждаются встроенным контуром водяного охлаждения. Поэтому насос EPX подходит для применения в чистых помещениях, где вентиляторное охлаждение недопустимо. Трубопроводы подачи и возврата охлаждающей воды подключаются к насосу с помощью соединителей для воды (уточняется заказчиком). Охлаждающая вода должна подаваться в соответствии с условиями окружающей среды (влажность и температура), чтобы не была достигнута точка росы.

_x000D_

_x000D_

Насос оснащен фильтром питания EMC и инверторным приводом, который обеспечивает и управляет электроснабжением насоса-двигателя. Светодиоды на передней крышке определяют состояние насоса EPX. Частота вращения двигателя зависит от давления на входе насоса. Когда насос запускается при давлении на входе, равном или близком к атмосферному, двигатель разгоняется до скорости, ограниченной током, который может подаваться инверторным приводом. По мере снижения давления на входе частота вращения двигателя увеличивается, пока в конечном итоге не достигнет заданной максимальной скорости. Если давление на входе увеличится, двигатель снова замедлится.

_x000D_

_x000D_

Насосы серии EPX N не могут управляться вручную; они должны управляться и контролироваться внешним управляющим оборудованием, которое должно быть подключено к насосу EPX через модуль интерфейса инструмента (TIM).

_x000D_

_x000D_

Насос EPX поддерживается четырьмя виброизоляторами.

_x000D_

_x000D_

Датчики защиты насоса автоматически отключают насос при возникновении неисправности.

_x000D_

_x000D_

Серия EPX ‘N’ включает газовый модуль, обеспечивающий продувку азотом, расширяющий диапазон применения для средних процессов, в которых ожидается низкий уровень агрессивных паров и твердых частиц.

_x000D_

_x000D_

Варианты исполнения

_x000D_

_x000D_

    _x000D_

  • EPX500N 208 В C3 TIM 3/8 водяной разъем.
  • _x000D_

  • EPX500N 208 В SPI TIM 3/8 водяной разъем.
  • _x000D_

  • EPX500N 208 В SPI TIM 1/4 водяной разъем.
  • _x000D_

  • EPX500N 400 В TEL TIM 3/8 водяной разъем.
  • _x000D_

  • EPX500N 208 В TEL TIM 1/4 водяной разъем.
  • _x000D_

  • EPX500N 208 В MCM TIM 3/8 водяной разъем.
  • _x000D_

  • EPX500N 400 В 3/8 водяной разъем.
  • _x000D_

_x000D_

Применение

_x000D_

    _x000D_

  • Блокировка нагрузки.
  • _x000D_

  • Перекачивающая камера.
  • _x000D_

  • Распыление PVD.
  • _x000D_

  • Озоление/прокладка PR.
  • _x000D_

  • Диэлектрическое травление.
  • _x000D_

_x000D_

Особенности

_x000D_

Компактность – EPX более компактен, чем эквивалентная комбинация турбомолекулярного насоса и первичного насоса.

_x000D_

_x000D_

Низкая стоимость владения – отсутствие планового технического обслуживания с 5-летним интервалом обслуживания.

_x000D_

_x000D_

Уникальный насосный механизм, защищенный патентом – EPX может откачивать из атмосферы до турбомолекулярного базового давления и может работать непрерывно при любом давлении на входе. Не требуется отдельная “грубая откачка”.

_x000D_

_x000D_

Сверхчистый механизм – насосы EPX не содержат смазки или масла в вакууме и не представляют другого источника потенциального загрязнения.

_x000D_

_x000D_

Чрезвычайно надежный – основанный на проверенной в полевых условиях технологии IPX, EPX имеет наработку на отказ = 13 лет (SEMI E10) с периодами обслуживания примерно каждые 5 лет, чтобы максимально продлить срок службы насоса.

_x000D_

_x000D_

Водяное охлаждение – низкая тепловая нагрузка на окружающую среду.

_x000D_

_x000D_

Низкий уровень шума и вибрации – улучшенная рабочая среда. Идеально подходит для работы в условиях, чувствительных к вибрации.

Перечень складских позиций

07.05.2024

mob34
wdt_ID Модель Основные параметры Кол-во на складе*
1 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
E2M1,5
Произв.: 1,8 м3/ч
Пред. ост. давление: 1,5·10-3 мбар
2 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
E2M18
Произв.: 20,5 м3/ч
Пред. ост. давление: 1,0·10-3 мбар
3 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
E2M28
Произв.: 32,2 м3/ч
Пред. ост. давление: 1,0·10-3 мбар
4 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
RV3
Произв.: 3,3 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
5 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
RV5
Произв.: 5,8 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
6 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
RV8
Произв.: 8,5 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
7 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
RV12
Произв.: 12,0 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
16 Спиральный насос
nXDS6i
Произв.: 6,2 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
17 Спиральный насос
nXDS10i
Произв.: 12,7 м3/ч
Пред. ост. давление: 7,0·10-3 мбар
18 Спиральный насос
nXDS15i
Произв.: 15,1 м3/ч
Пред. ост. давление: 7,0·10-3 мбар
19 Спиральный насос
XDS35i
Произв.: 35,0 м3/ч
Пред. ост. давление: 1,0·10-2 мбар
20 Фильтр масляного тумана
EMF3
Подходит к насосам:
E2M0.7, E2M1.5
21 Фильтр масляного тумана
EMF20
Подходит к насосам:
RV12, E2M18, E1M18, E2M18, E2M28
22 Фильтр масляного тумана
MF30
Подходит к насосам:
E2M28
23
Модель Основные параметры Кол-во на складе*
wdt_ID Модель Кол-во на складе*
1 E2M1,5
2 E2M18
3 E2M28
4 RV3
5 RV5
6 RV8
7 RV12
16 nXDS6i
17 nXDS10i
18 nXDS15i
19 XDS35i
20 EMF3
21 EMF20
22 MF30
23
Модель Кол-во на складе*

  Some Image — мало
  Some Image — много

Склад

расположен по адресу

г. Москва, Южнопортовая ул., д. 9б
4354345
Edwardss_png-1920w
Опросный лист

Контактная информация:

Тип оборудования:

Технологические характеристики рабочей среды

Температура продукта, °C

Технические характеристики

Производительность насоса, м3/час

+7 (495) 488-66-18
ПН-ПТ c 9:00 до 18:00