Серия сухих вакуумных насосов iGX устанавливает новые стандарты для нулевого обслуживания между капитальными ремонтами. Повышенная эффективность снижает стоимость владения и обеспечивает непрерывный режим перекачки во всем диапазоне давлений. Сухие насосы iGX имеют подключение по Ethernet, позволяющее просматривать ключевые данные через веб-страницы, а также полный набор сетевых опций для обеспечения непрерывной работы насоса. Насосы iGX доступны в широком диапазоне пиковых скоростей и вариантов для решения задач от чистых до среднетоннажных процессов. Модульная конструкция позволяет пользователям настраивать сухие насосы iGX в соответствии с индивидуальными требованиями производителя. Ультракомпактные габариты позволяют выполнять установку как непосредственно на инструменте, так и в непосредственной близости или удаленно.
_x000D_
Варианты исполнения
_x000D_
- _x000D_
- iGX100N 200-230 В 50/60 Гц.
- iGX100N 380-460 В 50/60 Гц.
_x000D_
_x000D_
_x000D_
Технология
_x000D_
- _x000D_
- iGX оснащен водяным клапаном с постоянным потоком.
- Предназначен для повышения энергоэффективности.
- Высокопроизводительные двигатели и инверторные приводы.
- Низкое энергопотребление при эксплуатации.
- Режим ожидания с пониженным энергопотреблением с помощью активного управления энергопотреблением (AUC).
- Разбавление азота может быть настроено в соответствии с требованиями применения.
- Минимизирует потребление газа Высокоэффективное охлаждение.
- Материалы с высокой проводимостью и хорошая конструкция обеспечивают низкий расход воды.
- Прецизионные керамические подшипники.
- Очень высокая грузоподъемность для надежности.
- Низкий уровень шума и вибрации.
- Подключение по Ethernet.
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
Серия iGX включает в себя уникальную функциональность веб-сервиса, которая позволяет просматривать ключевые параметры через простое подключение к Ethernet и браузер. Любой пользователь может просто подключиться к насосу для просмотра ряда сведений, таких как:
_x000D_
- _x000D_
- рабочее состояние;
- основные параметры;
- уставки параметров;
- сводка предупреждений.
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
Применение
_x000D_
- _x000D_
- Блокировка нагрузки.
- Перекачка.
- Метрология.
- Литография.
- Процесс PVD.
- Предварительная очистка PVD.
- RTA.
- Прокладка/Промывка.
- Оксидное травление.
- Травление кремния.
- Травление металла.
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
Особенности и преимущества
_x000D_
- _x000D_
- Сниженые затраты на коммунальные услуги до 50% по сравнению с сухими насосами iL/iH.
- Без профилактического обслуживания.
- Гибкие варианты установки.
- Возможные улучшения производительности инструмента.
- Один из самых быстрых доступных насосов с блокировкой нагрузки.
- Стабильная производительность перекачки по всему миру.
- Скорость перекачки одинакова при 50 и 60 Гц.
- Снижение уровня окружающего шума всего 55 дБ (А).
- Широкий диапазон максимальной скорости 100, 300, 600 и 800 м3/ч-1.
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
wdt_ID | Модель | Основные параметры | Кол-во на складе* |
---|---|---|---|
1 | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос E2M1,5 |
Произв.: 1,8 м3/ч Пред. ост. давление: 1,5·10-3 мбар |
|
2 | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос E2M18 |
Произв.: 20,5 м3/ч Пред. ост. давление: 1,0·10-3 мбар |
|
3 | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос E2M28 |
Произв.: 32,2 м3/ч Пред. ост. давление: 1,0·10-3 мбар |
|
4 | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос RV3 |
Произв.: 3,3 м3/ч Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар |
|
5 | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос RV5 |
Произв.: 5,8 м3/ч Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар |
|
6 | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос RV8 |
Произв.: 8,5 м3/ч Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар |
|
7 | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос RV12 |
Произв.: 12,0 м3/ч Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар |
|
16 | Спиральный насос nXDS6i |
Произв.: 6,2 м3/ч Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар |
|
17 | Спиральный насос nXDS10i |
Произв.: 12,7 м3/ч Пред. ост. давление: 7,0·10-3 мбар |
|
18 | Спиральный насос nXDS15i |
Произв.: 15,1 м3/ч Пред. ост. давление: 7,0·10-3 мбар |
|
19 | Спиральный насос XDS35i |
Произв.: 35,0 м3/ч Пред. ост. давление: 1,0·10-2 мбар |
|
20 | Фильтр масляного тумана EMF3 |
Подходит к насосам: E2M0.7, E2M1.5 |
|
21 | Фильтр масляного тумана EMF20 |
Подходит к насосам: RV12, E2M18, E1M18, E2M18, E2M28 |
|
22 | Фильтр масляного тумана MF30 |
Подходит к насосам: E2M28 |
|
23 | |||
Модель | Основные параметры | Кол-во на складе* |