Диффузионные насосы
Узнать больше
Насосы с масляным уплотнением
Узнать больше
Механические бустерные насосы
Узнать больше
Промышленные безмасляные насосы
Узнать больше
Малые сухие насосы
Узнать больше
Турбомолекулярные насосы
Узнать больше
Измерение вакуума
Узнать больше
Течеискатели
Узнать больше
Анализаторы остаточного газа
Узнать больше
Химические сухие насосы
Узнать больше
Компоненты вакуумных систем
Узнать больше
Вакуумные насосы для создания сверхвысокого вакуума
Узнать больше
Водокольцевые насосы
Узнать больше
iTrap
Узнать больше
Турбомолекулярные насосные станции
Узнать больше
Криогенные чиллеры
Узнать больше
Криоконденсационные вакуумные насосы
Узнать больше
Сухие насосы для полупроводниковой промышленности
Узнать больше
Решения по охране окружающей среды - Очистка отработавших газов
Узнать больше
Интегрированные решения
Узнать больше
Поиск...
Generic filters

Серия сухих вакуумных насосов iGX устанавливает новые стандарты для нулевого обслуживания между капитальными ремонтами. Повышенная эффективность снижает стоимость владения и обеспечивает непрерывный режим перекачки во всем диапазоне давлений. Сухие насосы iGX имеют подключение по Ethernet, позволяющее просматривать ключевые данные через веб-страницы, а также полный набор сетевых опций для обеспечения непрерывной работы насоса. Насосы iGX доступны в широком диапазоне пиковых скоростей и вариантов для решения задач от чистых до среднетоннажных процессов. Модульная конструкция позволяет пользователям настраивать сухие насосы iGX в соответствии с индивидуальными требованиями производителя. Ультракомпактные габариты позволяют выполнять установку как непосредственно на инструменте, так и в непосредственной близости или удаленно.

_x000D_

Варианты исполнения

_x000D_

    _x000D_

  • iGX100N 200-230 В 50/60 Гц.
  • _x000D_

  • iGX100N 380-460 В 50/60 Гц.
  • _x000D_

_x000D_

Технология

_x000D_

    _x000D_

  • iGX оснащен водяным клапаном с постоянным потоком.
  • _x000D_

  • Предназначен для повышения энергоэффективности.
  • _x000D_

  • Высокопроизводительные двигатели и инверторные приводы.
  • _x000D_

  • Низкое энергопотребление при эксплуатации.
  • _x000D_

  • Режим ожидания с пониженным энергопотреблением с помощью активного управления энергопотреблением (AUC).
  • _x000D_

  • Разбавление азота может быть настроено в соответствии с требованиями применения.
  • _x000D_

  • Минимизирует потребление газа Высокоэффективное охлаждение.
  • _x000D_

  • Материалы с высокой проводимостью и хорошая конструкция обеспечивают низкий расход воды.
  • _x000D_

  • Прецизионные керамические подшипники.
  • _x000D_

  • Очень высокая грузоподъемность для надежности.
  • _x000D_

  • Низкий уровень шума и вибрации.
  • _x000D_

  • Подключение по Ethernet.
  • _x000D_

_x000D_

Серия iGX включает в себя уникальную функциональность веб-сервиса, которая позволяет просматривать ключевые параметры через простое подключение к Ethernet и браузер. Любой пользователь может просто подключиться к насосу для просмотра ряда сведений, таких как:

_x000D_

    _x000D_

  • рабочее состояние;
  • _x000D_

  • основные параметры;
  • _x000D_

  • уставки параметров;
  • _x000D_

  • сводка предупреждений.
  • _x000D_

_x000D_

Применение

_x000D_

    _x000D_

  • Блокировка нагрузки.
  • _x000D_

  • Перекачка.
  • _x000D_

  • Метрология.
  • _x000D_

  • Литография.
  • _x000D_

  • Процесс PVD.
  • _x000D_

  • Предварительная очистка PVD.
  • _x000D_

  • RTA.
  • _x000D_

  • Прокладка/Промывка.
  • _x000D_

  • Оксидное травление.
  • _x000D_

  • Травление кремния.
  • _x000D_

  • Травление металла.
  • _x000D_

_x000D_

Особенности и преимущества

_x000D_

    _x000D_

  • Сниженые затраты на коммунальные услуги до 50% по сравнению с сухими насосами iL/iH.
  • _x000D_

  • Без профилактического обслуживания.
  • _x000D_

  • Гибкие варианты установки.
  • _x000D_

  • Возможные улучшения производительности инструмента.
  • _x000D_

  • Один из самых быстрых доступных насосов с блокировкой нагрузки.
  • _x000D_

  • Стабильная производительность перекачки по всему миру.
  • _x000D_

  • Скорость перекачки одинакова при 50 и 60 Гц.
  • _x000D_

  • Снижение уровня окружающего шума всего 55 дБ (А).
  • _x000D_

  • Широкий диапазон максимальной скорости 100, 300, 600 и 800 м3/ч-1.
  • _x000D_

Перечень складских позиций

15.10.2024

mob34
wdt_ID Модель Основные параметры Кол-во на складе*
1 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
E2M1,5
Произв.: 1,8 м3/ч
Пред. ост. давление: 1,5·10-3 мбар
2 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
E2M18
Произв.: 20,5 м3/ч
Пред. ост. давление: 1,0·10-3 мбар
3 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
E2M28
Произв.: 32,2 м3/ч
Пред. ост. давление: 1,0·10-3 мбар
4 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
RV3
Произв.: 3,3 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
5 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
RV5
Произв.: 5,8 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
6 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
RV8
Произв.: 8,5 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
7 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
RV12
Произв.: 12,0 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
16 Спиральный насос
nXDS6i
Произв.: 6,2 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
17 Спиральный насос
nXDS10i
Произв.: 12,7 м3/ч
Пред. ост. давление: 7,0·10-3 мбар
18 Спиральный насос
nXDS15i
Произв.: 15,1 м3/ч
Пред. ост. давление: 7,0·10-3 мбар
19 Спиральный насос
XDS35i
Произв.: 35,0 м3/ч
Пред. ост. давление: 1,0·10-2 мбар
20 Фильтр масляного тумана
EMF3
Подходит к насосам:
E2M0.7, E2M1.5
21 Фильтр масляного тумана
EMF20
Подходит к насосам:
RV12, E2M18, E1M18, E2M18, E2M28
22 Фильтр масляного тумана
MF30
Подходит к насосам:
E2M28
23
Модель Основные параметры Кол-во на складе*
wdt_ID Модель Кол-во на складе*
1 E2M1,5
2 E2M18
3 E2M28
4 RV3
5 RV5
6 RV8
7 RV12
16 nXDS6i
17 nXDS10i
18 nXDS15i
19 XDS35i
20 EMF3
21 EMF20
22 MF30
23
Модель Кол-во на складе*

  Some Image — мало
  Some Image — много

Склад

расположен по адресу

г. Москва, Южнопортовая ул., д. 9б
4354345
Edwardss_png-1920w
Опросный лист

Контактная информация:

Тип оборудования:

Технологические характеристики рабочей среды

Температура продукта, °C

Технические характеристики

Производительность насоса, м3/час

+7 (495) 488-66-18
ПН-ПТ c 9:00 до 18:00