_x000D_
Серия сухих вакуумных насосов iGX устанавливает новые стандарты для нулевого обслуживания между капитальными ремонтами. Повышенная эффективность снижает стоимость владения и обеспечивает непрерывную перекачку во всем диапазоне давлений._x000D_
_x000D_
_x000D_
Сухие насосы iGX имеют подключение по Ethernet, позволяющее просматривать ключевые данные через веб-страницы, а также полный набор сетевых опций для обеспечения непрерывной работы насоса._x000D_
_x000D_
_x000D_
Насосы iGX доступны в широком диапазоне пиковых скоростей и вариантов для решения задач от чистых до среднетоннажных процессов. Модульная конструкция позволяет пользователям настраивать сухие насосы iGX в соответствии с индивидуальными требованиями производителя. Сверхкомпактные размеры позволяют устанавливать его как на инструмент, так и в непосредственной близости или удаленно._x000D_
_x000D_
_x000D_
Варианты исполнения:_x000D_
_x000D_
- _x000D_
- iGX1000N 200-230 В 50/60 Гц;
- iGX1000N 380-460 В 50/60 Гц.
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
Технология:_x000D_
_x000D_
- _x000D_
- iGX оснащен водяным клапаном с постоянным потоком;
- Предназначен для повышения энергоэффективности;
- Высокопроизводительные двигатели и инверторные приводы;
- Низкое энергопотребление при эксплуатации;
- Режим ожидания с пониженным энергопотреблением с помощью активного управления энергопотреблением (AUC);
- Разбавление азота может быть настроено в соответствии с требованиями применения;
- Минимизирует потребление газа;
- Высокоэффективное охлаждение;
- Материалы с высокой проводимостью и хорошая конструкция обеспечивают низкий расход воды;
- Прецизионные керамические подшипники;
- Очень высокая грузоподъемность для надежности;
- Низкий уровень шума и вибрации;
- Подключение по Ethernet.
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
Серия iGX включает в себя уникальную функциональность веб-сервиса, которая позволяет просматривать ключевые параметры через простое подключение к Ethernet и браузер. Любой пользователь может просто подключиться к насосу для просмотра ряда сведений, таких как:_x000D_
_x000D_
- _x000D_
- Рабочее состояние;
- Основные параметры;
- Уставки параметров;
- Сводка предупреждений.
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
Особенности и преимущества:_x000D_
_x000D_
- _x000D_
- Снижение стоимости владения;
- Снижение затрат на коммунальные услуги до 50% по сравнению с сухими насосами iL/iH;
- Отсутствие профилактического обслуживания;
- Гибкие варианты установки;
- Маленький и легкий для легкой установки;
- На инструменте, в непосредственной близости или на расстоянии;
- Возможные улучшения производительности инструмента;
- Один из самых быстрых доступных насосов с блокировкой нагрузки;
- Стабильная производительность перекачки по всему миру;
- Скорость откачки одинакова при 50 и 60 Гц;
- Уменьшенный окружающий шум;
- Всего 55 дБ (А);
- Широкий диапазон пиковой скорости;
- 100, 300, 600 и 800 м3/ч-1.
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
Применение:
_x000D_
- _x000D_
- Блокировка нагрузки;
- Перекачка;
- Метрология;
- Литография;
- Процесс PVD;
- Предварительная очистка PVD;
- RTA;
- Прокладка/промывка;
- Оксидное травление;
- Травление кремния;
- Травление металла.
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
_x000D_
wdt_ID | Модель | Основные параметры | Кол-во на складе* |
---|---|---|---|
1 | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос E2M1,5 |
Произв.: 1,8 м3/ч Пред. ост. давление: 1,5·10-3 мбар |
|
2 | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос E2M18 |
Произв.: 20,5 м3/ч Пред. ост. давление: 1,0·10-3 мбар |
|
3 | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос E2M28 |
Произв.: 32,2 м3/ч Пред. ост. давление: 1,0·10-3 мбар |
|
4 | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос RV3 |
Произв.: 3,3 м3/ч Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар |
|
5 | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос RV5 |
Произв.: 5,8 м3/ч Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар |
|
6 | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос RV8 |
Произв.: 8,5 м3/ч Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар |
|
7 | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос RV12 |
Произв.: 12,0 м3/ч Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар |
|
16 | Спиральный насос nXDS6i |
Произв.: 6,2 м3/ч Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар |
|
17 | Спиральный насос nXDS10i |
Произв.: 12,7 м3/ч Пред. ост. давление: 7,0·10-3 мбар |
|
18 | Спиральный насос nXDS15i |
Произв.: 15,1 м3/ч Пред. ост. давление: 7,0·10-3 мбар |
|
19 | Спиральный насос XDS35i |
Произв.: 35,0 м3/ч Пред. ост. давление: 1,0·10-2 мбар |
|
20 | Фильтр масляного тумана EMF3 |
Подходит к насосам: E2M0.7, E2M1.5 |
|
21 | Фильтр масляного тумана EMF20 |
Подходит к насосам: RV12, E2M18, E1M18, E2M18, E2M28 |
|
22 | Фильтр масляного тумана MF30 |
Подходит к насосам: E2M28 |
|
23 | |||
Модель | Основные параметры | Кол-во на складе* |