Диффузионные насосы
Узнать больше
Насосы с масляным уплотнением
Узнать больше
Механические бустерные насосы
Узнать больше
Промышленные безмасляные насосы
Узнать больше
Малые сухие насосы
Узнать больше
Турбомолекулярные насосы
Узнать больше
Измерение вакуума
Узнать больше
Течеискатели
Узнать больше
Анализаторы остаточного газа
Узнать больше
Химические сухие насосы
Узнать больше
Компоненты вакуумных систем
Узнать больше
Вакуумные насосы для создания сверхвысокого вакуума
Узнать больше
Водокольцевые насосы
Узнать больше
iTrap
Узнать больше
Турбомолекулярные насосные станции
Узнать больше
Криогенные чиллеры
Узнать больше
Криоконденсационные вакуумные насосы
Узнать больше
Сухие насосы для полупроводниковой промышленности
Узнать больше
Решения по охране окружающей среды - Очистка отработавших газов
Узнать больше
Интегрированные решения
Узнать больше
Поиск...
Generic filters

Сухие насосы Edwards iH — это высоконадежный и недорогой насос для сложных технологических процессов, в которых присутствуют твердые частицы, конденсирующиеся или коррозионные побочные продукты. Серия iH оснащена пятиступенчатым базовым насосом с инновационным консольным ротором, когтями и корнями, что улучшает пылеулавливание и снижает шум выхлопных газов. Кроме того, насосы серии iH оснащены одноступенчатым механическим бустерным насосом и полностью закрытыми двигателями с водяным охлаждением.

_x000D_

Серия iH обеспечивает высокую надежность для сложных технологических процессов, таких как PECVD и LPCVD, где присутствуют твердые частицы, конденсирующиеся и коррозионные побочные продукты.

_x000D_

Варианты исполнения:

_x000D_

    _x000D_

  • iH1000 460 В, 60 Гц 3O;
  • _x000D_

  • iH1000 200/208 В, 50/60 Гц 3O;
  • _x000D_

  • iH1000 380/415 В, 50 Гц 3O;
  • _x000D_

  • iH1000 230 В, 60 Гц 3O.
  • _x000D_

_x000D_

Технология

_x000D_

Система iH работает при давлении между атмосферным и предельным вакуумом без наличия смазочной или уплотняющей жидкости в насосной камере. Это обеспечивает чистоту насосной системы без обратной миграции масла в откачиваемую систему.

_x000D_

Система iH1000 оснащена сухим насосом HCDP80 с механическим бустерным насосом HCMB1000, установленным на входе насоса HCDP80. Насосы HCDP и HCMB оснащены закрытыми двигателями с водяным охлаждением. Поэтому система iH подходит для применения в чистых помещениях, где вентиляторное охлаждение двигателей недопустимо.

_x000D_

Система iH оснащена газовой системой, которая подает продувочный газ в насос HCDP. Эта газовая система подходит для использования в тяжелых условиях эксплуатации. Если вы используете систему iH на процессах малой или средней производительности, вы можете использовать экономичный газовый режим, чтобы уменьшить потребление продувочного азота насосной системой.

_x000D_

Вы можете вручную управлять системой iH с помощью терминала индикации насоса. Кроме того, вы можете использовать свой технологический инструмент или другое управляющее оборудование для управления работой системы iH через интерфейсный модуль или через дополнительный модуль обмена мгновенными сообщениями, или вы можете использовать аксессуар iH Single Equipment Monitor для управления работой системы iH.

_x000D_

Особенности и преимущеста:

_x000D_

    _x000D_

  • Оптимизированное потребление коммунальных услуг;
  • _x000D_

  • Профилактическое обслуживание не требуется;
  • _x000D_

  • Консольные валы и специально профилированные роторы для лучшей обработки частиц;
  • _x000D_

  • Резервная мощность двигателя также обеспечивает максимальную надежность при работе в жестких условиях CVD;
  • _x000D_

  • Коррозионностойкие материалы позволяют перекачивать агрессивные газы;
  • _x000D_

  • Более высокие рабочие температуры обеспечивают достаточный запас для предотвращения конденсации газа;
  • _x000D_

  • Цельный вал устраняет необходимость в муфте двигателя, а пятая ступень откачки устраняет необходимость в глушителе и устраняет накопление частиц, что снижает общую площадь занимаемой площади.
  • _x000D_

_x000D_

Применение:

_x000D_

    _x000D_

  • Блокировка нагрузки;
  • _x000D_

  • Перекачка;
  • _x000D_

  • Метрология;
  • _x000D_

  • Литография;
  • _x000D_

  • Процесс PVD;
  • _x000D_

  • Предварительная очистка PVD;
  • _x000D_

  • RTA;
  • _x000D_

  • Промывка/промывка;
  • _x000D_

  • Травление;
  • _x000D_

  • Источник имплантации;
  • _x000D_

  • HDP CVD;
  • _x000D_

  • RTP;
  • _x000D_

  • SACVD;
  • _x000D_

  • MCVD;
  • _x000D_

  • PECVD;
  • _x000D_

  • LPCVD;
  • _x000D_

  • ALD.
  • _x000D_

_x000D_

Перечень складских позиций

07.05.2024

mob34
wdt_ID Модель Основные параметры Кол-во на складе*
1 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
E2M1,5
Произв.: 1,8 м3/ч
Пред. ост. давление: 1,5·10-3 мбар
2 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
E2M18
Произв.: 20,5 м3/ч
Пред. ост. давление: 1,0·10-3 мбар
3 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
E2M28
Произв.: 32,2 м3/ч
Пред. ост. давление: 1,0·10-3 мбар
4 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
RV3
Произв.: 3,3 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
5 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
RV5
Произв.: 5,8 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
6 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
RV8
Произв.: 8,5 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
7 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
RV12
Произв.: 12,0 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
16 Спиральный насос
nXDS6i
Произв.: 6,2 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
17 Спиральный насос
nXDS10i
Произв.: 12,7 м3/ч
Пред. ост. давление: 7,0·10-3 мбар
18 Спиральный насос
nXDS15i
Произв.: 15,1 м3/ч
Пред. ост. давление: 7,0·10-3 мбар
19 Спиральный насос
XDS35i
Произв.: 35,0 м3/ч
Пред. ост. давление: 1,0·10-2 мбар
20 Фильтр масляного тумана
EMF3
Подходит к насосам:
E2M0.7, E2M1.5
21 Фильтр масляного тумана
EMF20
Подходит к насосам:
RV12, E2M18, E1M18, E2M18, E2M28
22 Фильтр масляного тумана
MF30
Подходит к насосам:
E2M28
23
Модель Основные параметры Кол-во на складе*
wdt_ID Модель Кол-во на складе*
1 E2M1,5
2 E2M18
3 E2M28
4 RV3
5 RV5
6 RV8
7 RV12
16 nXDS6i
17 nXDS10i
18 nXDS15i
19 XDS35i
20 EMF3
21 EMF20
22 MF30
23
Модель Кол-во на складе*

  Some Image — мало
  Some Image — много

Склад

расположен по адресу

г. Москва, Южнопортовая ул., д. 9б
4354345
Edwardss_png-1920w
Опросный лист

Контактная информация:

Тип оборудования:

Технологические характеристики рабочей среды

Температура продукта, °C

Технические характеристики

Производительность насоса, м3/час

+7 (495) 488-66-18
ПН-ПТ c 9:00 до 18:00