Диффузионные насосы
Узнать больше
Насосы с масляным уплотнением
Узнать больше
Механические бустерные насосы
Узнать больше
Промышленные безмасляные насосы
Узнать больше
Малые сухие насосы
Узнать больше
Турбомолекулярные насосы
Узнать больше
Измерение вакуума
Узнать больше
Течеискатели
Узнать больше
Анализаторы остаточного газа
Узнать больше
Химические сухие насосы
Узнать больше
Компоненты вакуумных систем
Узнать больше
Вакуумные насосы для создания сверхвысокого вакуума
Узнать больше
Водокольцевые насосы
Узнать больше
iTrap
Узнать больше
Турбомолекулярные насосные станции
Узнать больше
Криогенные чиллеры
Узнать больше
Криоконденсационные вакуумные насосы
Узнать больше
Сухие насосы для полупроводниковой промышленности
Узнать больше
Решения по охране окружающей среды - Очистка отработавших газов
Узнать больше
Интегрированные решения
Узнать больше
Поиск...
Generic filters
19.05.2024

В НАЛИЧИИ СКЛАДСКИЕ ПОЗИЦИИ EDWARDS

19.05.2024
Специальное предложение

В НАЛИЧИИ СКЛАДСКИЕ ПОЗИЦИИ EDWARDS

РАСПРОДАЖА СКЛАДА! Специальное предложение: складские позиции по ценам конца осени 2022 года! Успейте купить!

ATLAS — непревзойденная эффективность очистки отработавших газов

Atlas — технология нейтрализации газообразных продуктов сгорания с учетом специфики технологического процесса.
  • Atlas TCS для обычных газов в технологических процессах осаждения из газовой фазы (NF3/F2)
  • Atlas TPU для перфторуглеродных газов (PFC) (ClF3, C2F6, C3F8) в технологических процессах осаждения из газовой фазы
  • Atlas Kronis для газов с низкой диэлектрической проницаемостью в технологических процессах осаждения из газовой фазы следующего поколения
  • Atlas Etch для технологических процессов травления в производстве полупроводников и дисплеев с плоским экраном (CF4, SF6, а также PFC при высоком расходе)
  • Atlas Helios для обеспечения безопасности в технологических процессах с использованием водорода для эпитаксиального выращивания кристаллов и MOCVD
Системы Atlas™ отличаются низким расходом топлива по сравнению с устройствами для очистки отработавших газа предыдущего поколения. В них используется отлично зарекомендовавшая себя камера сгорания Alzeta™, что позволяет значительно снизить стоимость владения. Системы Atlas имеют от одного до шести впускных отверстий, множество опций, включая систему регулирования температуры (TMS), и обеспечивают пропускную способность по потоку до 1200 ст. л/мин. Их конструкция разрабатывалась с учетом простоты использования и оптимизации обслуживания.

Технология сжигания Edwards с направленным внутрь потоком

Камеры сгорания с направленным внутрь потоком используются на большинстве предприятий крупных производителей полупроводников, и с 1994 года они стали мировым стандартом в области очистки отработавших газов. Уникальная технология сжигания, созданная компанией Edwards, обеспечивает равномерную температуру горения. Это гарантирует очень низкий уровень фоновой эмиссии газа, а направленный внутрь поток газа исключает контакт обрабатываемого материала со стенками камеры, что сводит к минимуму засорение твердыми частицами. Единственный в своем роде состав материала камеры сгорания обеспечивает превосходную устойчивость к коррозии, а также непревзойденную надежность и безопасность систем Atlas. Высокотехнологичный инновационный центр Edwards по охране окружающей среды предлагает высокопроизводительные, отлично зарекомендовавшие себя решения для конкретных технологических процессов. Эффективность всех систем подтверждена независимыми экспертами. Параметры DRE (эффективность разрушения и обезвреживания) обычно превышают требования международного и национального законодательства:     Содержание SiH4 и других галидов должно быть ниже ПДК     NF3: > 99 % / < ПДК     F2: : > 99 % / < ПДК     CF4: > 90 %     Другие фтористые соединения (PFC): > 99 % Компания Edwards — лидер по числу установленных систем собственного производства и предлагает клиентам самые оптимальные решения, отлично подходящие для технологических процессов, а также техническую поддержку по всему миру высококвалифицированных специалистов по прикладному применению. Обратитесь к представителю нашей компании для совместной разработки оптимального решения.

ХИМВАКУУМ

Поставщик Edwards в России

Получить предложение

Получить предложение

Контактная информация:

Задать вопрос специалисту
Задать вопрос специалисту

Контактная информация:


Опросный лист

Опросный лист

Опросный лист/Технологическая позиция

Контактная информация:

Тип оборудования:

Технологические характеристики рабочей среды

Температура продукта, °C

Технические характеристики

Производительность насоса, м3/час

Контакты

Отдела продаж

105187, Москва, ул. Щербаковская, д. 53, к.3

Atlas

Добавить комментарий

Ваш адрес email не будет опубликован. Обязательные поля помечены *

This field is required.

This field is required.

Распродаем склад: по ценам конца осени 2022 года!

E2M1,5 - E2M18 - E2M28 - RV3 - RV5 - RV8 - RV12 - nXDS6i - nXDS10i - nXDS15i - XDS35i

×

Перечень складских позиций

07.05.2024

mob34
wdt_ID Модель Основные параметры Кол-во на складе*
1 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
E2M1,5
Произв.: 1,8 м3/ч
Пред. ост. давление: 1,5·10-3 мбар
2 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
E2M18
Произв.: 20,5 м3/ч
Пред. ост. давление: 1,0·10-3 мбар
3 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
E2M28
Произв.: 32,2 м3/ч
Пред. ост. давление: 1,0·10-3 мбар
4 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
RV3
Произв.: 3,3 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
5 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
RV5
Произв.: 5,8 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
6 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
RV8
Произв.: 8,5 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
7 Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
RV12
Произв.: 12,0 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
16 Спиральный насос
nXDS6i
Произв.: 6,2 м3/ч
Пред. ост. давление: 2,0·10-3 мбар
17 Спиральный насос
nXDS10i
Произв.: 12,7 м3/ч
Пред. ост. давление: 7,0·10-3 мбар
18 Спиральный насос
nXDS15i
Произв.: 15,1 м3/ч
Пред. ост. давление: 7,0·10-3 мбар
19 Спиральный насос
XDS35i
Произв.: 35,0 м3/ч
Пред. ост. давление: 1,0·10-2 мбар
20 Фильтр масляного тумана
EMF3
Подходит к насосам:
E2M0.7, E2M1.5
21 Фильтр масляного тумана
EMF20
Подходит к насосам:
RV12, E2M18, E1M18, E2M18, E2M28
22 Фильтр масляного тумана
MF30
Подходит к насосам:
E2M28
23
Модель Основные параметры Кол-во на складе*
wdt_ID Модель Кол-во на складе*
1 E2M1,5
2 E2M18
3 E2M28
4 RV3
5 RV5
6 RV8
7 RV12
16 nXDS6i
17 nXDS10i
18 nXDS15i
19 XDS35i
20 EMF3
21 EMF20
22 MF30
23
Модель Кол-во на складе*

  Some Image — мало
  Some Image — много

Склад

расположен по адресу

г. Москва, Южнопортовая ул., д. 9б
4354345
Edwardss_png-1920w
Опросный лист

Контактная информация:

Тип оборудования:

Технологические характеристики рабочей среды

Температура продукта, °C

Технические характеристики

Производительность насоса, м3/час

+7 (495) 488-66-18
ПН-ПТ c 9:00 до 18:00