Вакуумные насосы для создания сверхвысокого вакуума

Ионные насосы, также известные как ионно-сорбционные или геттерно-ионные, представляют собой насосы, в которых газы ионизируются с помощью анода и катода. При бомбардировке ионами происходит распыление химически активных материалов катода, что вызывает химическую реакцию, в результате которой ионизированные газы превращаются в твердые соединения. Эти соединения не вызывают изменений давления в вакуумной системе и остаются в ионном насосе. Ионные насосы могут работать в диапазоне от 10^-5 до 10^-12 мбар и от 0,2 до 1200 л/с (для азота).

Принцип работы этих насосов заключается в нагревании титановой нити и последующей сублимации молекул титана на поверхности (преобразовании из твердой в газовую фазу). После этого сублимированные молекулы титана вступают в реакцию с химически активными газами, такими как кислород и азот, в результате чего от них отделяется водород. Титановые сублимационные насосы могут работать в диапазоне от 10^-5 до 10^-12 мбар и обеспечивают скорость откачки свыше 10 000 л/с (для водорода).

Содержат химически активные металлы, впрессованные в твердые подложки или спеченные с дисками. Практика показывает, что для систем высокого и сверхвысокого вакуума лучше всего подходит определенное сочетание циркония, ванадия и железа. Скорость и производительность насоса NEG зависит от количества используемого материала, но рабочий диапазон скорости составляет, как правило, от 55 до 412 л/с, а производительности — от 630 до 3600 торр л/с. После насыщения NEG газами реактивацию можно произвести без сброса в атмосферу.

Современный контроллер NEG в компактном корпусе отличается оптимальным соотношением производительности к затратам и улучшенной функциональностью и упрощает создание сверхвысокого вакуума для ваших задач.

Контроллеры DIGITEL SPC-NEG обеспечивают работу насосов NEG с высокой скоростью откачки водорода, который является наиболее важным типом газа, используемого при создании сверхвысокого вакуума. В отличие от стандартных источников питания SPC-NEG не только подает ток в нагреватель NEG, но и использует предварительно заданные процедуры с определенными параметрами, такими как текущие значения или продолжительность нагрева. Эти значения выбираются SPC-NEG в зависимости от подключенного насоса NEG. Процедуры можно настраивать для экспериментов с различными параметрами. Надежная работа достигается за счет системы управления с открытым контуром и защиты от перегрузки.

Большой сенсорный экран обеспечивает простоту использования. Кроме того, интерфейс Ethernet позволяет осуществлять дистанционное управление.